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什么是荷电效应？
扫描电子显微镜主要用于样品表面微观形貌观察，但在观察样品过程中经常由于荷电效应使得图像异常变亮、畸变，甚至出现图像模糊的情况，严重影响成像质量。
图1固体绝缘材料的电子发射特性曲线。横坐标为入射电子能量，纵坐标为试样的电子产率。荷电现象可以用基尔霍夫电流定律表示，即在任一瞬时流向某一结点的电流之和等于由节点流出的电流之和。可用以下公式表达：
其中 Ip 是入射电子的电流，δIb 是背散射电子和二次电子的电流之和，Isc 是样品接地电流，Q 为时间 t 内的放电电荷。
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