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扫描电镜主要用于微观形貌分析，其测试结果的好坏，一方面是由仪器的性能、测试条件和操作人员水平决定，另一方面还与样品制备过程有关。
SEM样品需要保持清洁、无污染物，尽量把污染程度降到低。因此要求我们在拿取与制备样品时需要佩戴干净无粉手套，使用的剪刀、镊子等制样工具亦要保持干净。
保持 SEM 制样工具干净
如果在样品制备过程中，不注意保持清洁，用裸手拿取样品，手上的油脂灰尘会污染样品。如下图所示，裸手接触干净铝箔表面后，可以观察到明显的污染物。通过能谱面扫分析，发现污染颗粒主要成分为碳和氧，由此推断该污染物主要为油脂。
干净铝箔表面 裸手触摸过的铝箔表面
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表面污染物能谱面扫结果分析
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