掃描電鏡主要應用于對樣品微區形貌,結構與組成進行觀察與分析。 它以分辨率高,景深好和操作簡單而被廣泛應用于材料學,物理學,化學,生物學,考古學,地礦學和微電子工業。
臺式掃描電子顯微鏡(Desktop Scanning Electron Microscope,簡稱DSEM)是一種體積小巧、操作簡便的電子顯微鏡,主要用于各種樣品的微細結構和特征的形貌觀察及微區分析。 它結合了落地式掃描電子顯微鏡和光學顯微鏡的優點,具有高放大倍數和大景深,同時體積小、操作簡便。
臺式掃描電鏡的主要功能包括:
微觀形貌觀測:通過高能電子束激發樣品表面的物理信號,如二次電子、背散射電子等,檢測這些信號以獲取樣品表面的形貌圖像,分辨率可達納米級別。
元素分析:部分臺式掃描電鏡配備能譜儀等附件,可以對樣品表面的元素進行定性和定量分析,了解材料的化學成分和組成。
臺式掃描電鏡的應用領域廣泛,包括:
材料科學與工程:用于金屬、陶瓷、復合材料、納米材料等的表面形貌和結構分析,評估材料性能和可靠性。
生物學和醫學研究:觀察細胞、組織、微生物等生物樣本的形態和結構,對于疾病診斷、藥物作用機理研究具有重要意義。
納米技術:提供納米級別的分辨率,研究納米材料和納米器件的結構和性能。
半導體和微電子:用于芯片和微電子元件的質量檢測,確保產品質量和性能。
地質學和環境科學:分析巖石、礦物、土壤以及環境污染物的微觀結構,理解地球形成和環境保護。
工業質量控制:在制造業中用于產品質量檢測,提高生產質量和效率。
教育和培訓:為學生提供直觀的學習材料,幫助理解微觀世界的工作原理。
綜上所述,臺式掃描電鏡以其高分辨率、多功能性和操作便捷性,成為多個領域研究中重要的工具。